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长春博盛量子有限公司


ATLEX-1000-I

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所  在  地长春市

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更新时间:2025-04-15 09:30:53浏览次数:53次

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产品简介

产品型号:ATLEX-1000-I品牌名称:德国ATLLasertechnik德国ATLLasertechnik公司专业生产小型化、高重频、紧凑型短脉冲,并在该领域保持技术地位

详细介绍


产品型号:ATLEX-1000-I

品牌名称:德国ATL Lasertechnik

 

德国ATL Lasertechnik公司专业生产小型化、高重频、紧凑型短脉冲并在该领域保持技术地位。

 

产品特点:

 

· 软电晕预电离

· 全固态高压脉冲发生器

· 激光头容积 < 3L

· TMC(全金属陶瓷)管路

· 集成真空泵和卤素过滤器

· 全部风冷,主动热管理

· RS-485、RS232、USB光纤接口

· 可冲洗光具座

· 能量稳定模式

· 符合欧洲CE标准

· 符合RoHS规范

 

产品应用:

 

· 机械加工

· 激光烧蚀

· 光谱学

· 计量学

 

产品参数:

 

ATLEX-1000-I 产品参数

气体介质

ArF

KrF

单位

波长

193

248

nm

高压开关技术

固态开关

 

脉冲能量1

10

15

mJ

平均功率

8

 10

 W

重复频率

 1000

 Hz

脉冲宽度2

5 – 8

ns

光束尺寸2(V x H)

4 x 6

mm

光束发散角2(V x H)

1 x 2

mrad

能量稳定性(标准偏差)

< 3

%

尺寸(长x宽x高)

540 x 470 x 370

mm

重量

60

kg

冷却

Cooling Air / Optional Liquid

 

电力需求

230 VAC / 10 A / 1 phase / 50-60 Hz

 

所有规格均为典型数据,如有因产品改进而更改的,恕不另行通知。

1 在重复频率情况下测得: 应用能量稳定模式将会有10%的输出能量损失。

2 典型值,FWHM


关键词:真空泵

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