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长春博盛量子有限公司


ATLEX-S OEM用

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所  在  地长春市

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更新时间:2025-04-15 09:39:30浏览次数:53次

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产品简介

产品型号:ATLEX-S品牌名称:德国ATLLasertechnikATLEX-S系列激光器是一款非常紧凑的紫外光源,设计用于低、中占空比的OEM应用

详细介绍


产品型号:ATLEX-S

品牌名称:德国ATL Lasertechnik

 

ATLEX-S系列激光器是一款非常紧凑的紫外光源,设计用于低、中占空比的OEM应用。

 

产品特点:

 

· 超紧凑的尺寸

·  超快电晕预电离技术

· HV-固态脉冲发生器

· 激光腔体<3L

· 全新技术的金属陶瓷腔

· 集成真空泵和卤素过滤器

· 全部风冷,温度控制

· 系统集成RS485,RS232,USB和FOC接口

· 方便清洗的光学镜架

· 能量稳定模式

· 符合欧洲CE标准

· RoHS认证

 

产品应用:

 

· 光谱学

· 微加工

· 测试和测量

 

产品参数:

 

ATLEX-S产品参数

气体介质

ArF

KrF

单位

波长

193

248

nm

高压开关技术

固态开关

固态开关

 

重复频率

300

500

300

500

Hz

脉冲能量1

10

10

15

15

mJ

平均功率

2,4

4

4

6

W

脉冲宽度2

5 – 8

ns

光束尺寸2(V x H)

4 x 6

mm

光束发散角2(V x H)

1 x 2

mrad

能量稳定性(标准偏差)

< 3

%

尺寸(长x宽x高)

630 x 400 x 300

mm

重量

65

kg

冷却

Air

 

电力需求

230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz

 

所有规格均为典型数据,如有因产品改进而更改的,恕不另行通知。

1 在重复频率情况下测得: 应用能量稳定模式将会有10%的输出能量损失。

2 典型值,FWHM

关键词:真空泵

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