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广州市太克电子科技有限公司
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CM500系列无尘室气体监视器
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随着大规模集成电路的发展，从无尘室中清除酸碱性气体或颗粒等气体污染物就成为一个很重要的课题。 在一个64-Mbit的集成电路处理中，设计要求微粒直径为0.25mm甚至更小。 在这里用到了化学增强光学电阻，而这种电阻产生的挥发碱颗粒，如氨质子等，会导致零件的失效。 于是，为了保证正常生产就需要将碱性颗粒的浓度保持在1mg/m3以下。 该系统为了能够高敏感度测量酸碱气体使用了扩散吸取式采样器。 该扩散吸取式采样器吸收液体中的酸碱气体后，再将其用离子色谱进行分析。 还有多通道型(16点)选配件供选择。 两种型号:CM501，主要测量碱性气体;CM502，主要测量酸性气体(氧化物、磷酸、SO2等)。 |
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| 型号:无尘室气体检测器 CM501及CM502系统规格
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