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干式涡旋真空泵，12.2升/小时，0.007毫巴

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产品介绍ProductDescriptionTXSL涡旋式真空泵是一款无油、洁净的真空泵，采用了当今世界上zui的波纹管屏蔽结构，使压缩腔与轴承实现隔离，并采用更少的轴承，让泵更加安静可靠，同时可抽除无腐蚀性有机溶剂，具备更强的水汽处理能力

详细介绍

产品介绍 Product Description

TXSL涡旋式真空泵是一款无油、洁净的真空泵，采用了当今世界上zui

的波纹管屏蔽结构，使压缩腔与轴承实现隔离，并采用更少的轴承，让泵

更加安静可靠，同时可抽除无腐蚀性有机溶剂，具备更强的水汽处理能力。

TXSL涡旋式真空泵配备了独立控制器，使泵更加智能化，可实现根据终端用户

工艺对泵进行调速、限流、稳压等控制功能。由于采用涡旋式压缩及顶密封结

构，因此该泵不适用于抽除易燃、易爆、含有强腐蚀性及颗粒的应用领域。

工作原理 Working Principle

Step1. 吸气，并将空气全部封闭在容积腔内，压缩开始;

Step2. 继续向容积腔中心点逐步压缩；

Step3. 将空气压缩至容积腔中心点，即将开始排气；

Step4. 完成排气，一个完整压缩过程结束；

应用领域 Application

质谱分析（GCMS/LCMS/ICPMS、真空检漏、表面分析）；电子显微镜（电子加速器、电子显微镜）；高能物理研

究（光束线、加速器、微波系统、激光引导）；工业应用（冻干机、干燥箱、手套箱、真空镀膜、真空脱泡、真空脱

气、真空包装、真空灌注、冷媒灌注、特殊气体循环、SF6回收、稳压自动化等）；电子半导体（分子泵的前级泵、

碳化硅生长炉、真空排气台、等离子清洗、特殊气体回收等）；实验室应用（真空实验装置、分子泵前级泵等）；太

阳能光伏（退火炉、长晶炉等）；医疗设备（呼吸式癌症检测仪、质子重离子、等离子灭菌等）；生物化学研

究（蛋白质水分离、凝胶干燥、溶剂回收、真空过滤/萃取等）；航天研究（空间环境模拟等）；工业自动化定制；

关键词：真空泵电子显微镜显微镜手套箱生长炉

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