洁净度等级(ISO14644-1 ) | 气流类型 | 平均风速( m/s ) | 换气次数( h-1 ) | 应用实例 |
1 ~ 4 | 单向流 | 0.3 ~ 0.5 | — | 无菌加工 |
5 | 单向流 | 0.2 ~ 0.5 | — | 直接支持无菌加工的其它加工区 |
6 | 非单向流 | — | 50 ~ 60 | 无菌加工的支持区;包括受控的制备区 |
7 | 非单向流 | — | 15 ~ 25 | |
8~9 | 非单向流 | — | 10 ~ 15 |
洁净度等级( ISO14644-1 ) | 气流流型 | 平均风速( m/s ) | 单位面积送风量( m3/ ㎡ ·h ) | 应用实例 | ||
2 | U | 0.3 ~ 0.5 | — | 光刻、半导体工艺区; | ||
3 | U | 0.3 ~ 0.5 | — | 工作区、半导体工艺区; | ||
4 | U | 0.3 ~ 0.5 | — | 工作区、多层掩膜工艺、密盘制造、半导体服务区、动力区; | ||
5 | U | 0.2 ~ 0.5 | — | |||
6 | M | 0.1 ~ 0.3 | — | 动力区、多层工艺、半导体服务区; | ||
N 或 M | — | 70 ~ 160 | ||||
7 | N 或 M | — | 30 ~ 70 | 服务区、表面处理; | ||
8 | N 或 M | — | 10 ~ 20 | 服务区 | ||
U :单向流 | N :非单向流 | M : 混合流(单向流和单向流的组合流型) |
生物安全柜级别 | 工作口平均进风速度( m/s ) | 循环风比例( % ) | 排风比例( % ) | 连接方式 | |
Ⅰ级 | 0.38 | 0 | 100 | 密闭连接 | |
Ⅱ级 | A1 | 0.38 ~ 0.50 | 70 | 30 | 可排到房间或设置局部排风罩 |
A2 | 0.50 | 70 | 30 | 可设置局部排风罩或密闭连接 | |
B1 | 0.50 | 30 | 70 | 密闭连接 | |
B2 | 0.50 | 0 | 100 | 密闭连接 | |
Ⅲ级 | — | 0 | 100 | 密闭连接 |
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