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「超净间」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内气压、气流速度、气流分布、噪音、振动、照明及静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求,可概称这种空间为超净间,也称为无尘室或清净室。
超净间之
(一)超净间之定义
超净间(Clean Room),亦称为无尘室或清净室。
「超净间」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内气压、气流速度、气流分布、噪音、振动、照明及静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求,可概称这种空间为超净间,也称为无尘室或清净室
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