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膜厚测量仪

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更新时间：2022-07-08 14:02:51浏览次数：2301次

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长春海洋光电有限公司

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产品简介

膜厚测量仪厚度测量仪

详细介绍

膜厚测量仪

膜厚测量仪产品说明薄膜测量薄膜厚度新泽西Salt Point公司开发的薄膜监测系统（TDS），在宽带溶解率监测仪（DRM）中集成了一套海洋光学多通道光谱仪，用来分析半导体和光学工业中使用的超薄的抗蚀膜。 DRM帮助客户确定膜层的厚度以及应用抗蚀膜后的材料溶解速率这都是控制薄膜生产工艺的重要参数。在初始化测试中，薄膜监测解决方案主要针对膜厚<300nm的应用，相对而言，传统的单色和多色干涉测量方法在该测量应用中的效果较差。在测试中，TDS采用了一个SD2000双通道光谱仪，通过一个R系列反射探头来实现反射式测量。 TDS在其上的报告中的结果显示了多波长DRM系统能够在离散的时间间隔内测定薄膜厚度，传统的DRM系统要监测光阻材料比较困难，并且，通过免去了对离散的静态的光学厚度测量工具的需求，也给研究者提供了相应附加值。目前，TDS提供了1-, 2-, 4- 和8-通道的配置。TDSzui近正好发布了它的L系列DRM产品线，新产品可以用于光阻材料的研发，配方研究，光阻材料生产的质量控制，以及聚合树脂生产的质量控制。L系列产品线包括多波长和多层分析算法，实现对零度薄膜的离散厚度测量，并且提供非线性溶解速率现象的准确数据。更详细的信息请访问：www.thicknessdetection.com. 概要附着在基底上的薄膜就如同一个标准具，当观察其表面的反射率时会看到一幅干涉条纹图样。当组合不同折射率的材料时，条纹间隔的正弦曲线分布可以用来计算此薄膜的厚度。光谱仪 USB4000-VIS-NIR （350-1000nm）适合用于薄膜的反射测量。光谱仪预先配置了#3光栅，它的闪耀波长在500nm；一个OFLV-350-1000滤光片可以屏蔽二级和三级衍射效应；以及一个25μm 狭缝，可以得到~1.5nm （FWHM）的光学分辨率。取样光学元件 R400-7-VIS/NIR反射式探头，90°测量薄膜表面的镜面反射。再加上一个LS-1卤钨灯光源和一个STANSSH高反射率镜面反射标准参考，组成一套取样配置。测量从海洋光学的操作软件中（见上图）可以观察到由薄膜基底的膜层产生的干涉光谱。分析zui大值和zui小值处的波长可以确定薄膜的厚度（已知薄膜的折射率）或者确定它的折射率（已知薄膜的厚度）。需要注意的是，样本的厚度可能不是均匀的；建议测量薄膜的多个位置点。

【光谱测试仪器】

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【光学精密机械】

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【光学影像】

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【探测器】

照度计  亮度计  辐射计  便携式色差计  太阳光功率计  快速反应探测器  前置放大探测器  光纤耦合探测器  液氮制冷探测器  皮秒超快探测器  位敏探测器  四象限探测器  双色探测器  紫外辐照计  硅光电探测器  近红外探测器  中红外探测器  雪崩二极管  光电倍增管

【光学元件】

窗片/窗口  反射镜  透镜  光学基片  分光镜  棱镜  晶体  滤光片  波长板  扩散板  起偏器  光学镜头  光纤产品  光栅尺  红外镜头  光栅