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| | XD-010 | XD-020 | XD-040 | XD-063 | XD-100 | XD-160 |
| 抽气速率（L/h） | 10 | 20 | 40 | 63 | 100 | 160 |
| 极限压力≤（Pa） | 2×10-2 | 2×10-2 | 2×10-2 | 2×10-2 | 2×10-2 | 2×10-2 |
| 电机功率（kw） | 0.37 | 0.75 | 1.1 | 1.5 | 1.5 | 4 |
| 转速（rpm） | 1450 | 3000 | 1450 | 1450 | 1450 | 1450 |
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