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电子行业用超纯水系统

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所在地青岛市

更新时间:2022-08-03 13:42:16浏览次数:1003次

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新兴的光电材料生产、加工、清洗;LCD液晶显示屏、PDP等离子显示屏、高品质灯管显像管、微电子工业、大规模、超大规模集成电路需用大量的高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高,对水质的要求也越高,这也对超纯水处理工艺及产品的简易性、自动化程度、生产的连续性、可持续性等提出了更加严格的要求。

水质标准:电阻率≥15MΩ.cm,达到中国电子Ⅱ级用水标准
电阻率≥18MΩ.cm,达到中国电子Ⅰ级用水标准
工艺:一级反渗透 混床
标准配制:原水→原水箱→原水泵→絮凝剂装置→机械过滤器→活性炭过滤器→阻垢剂装置→保安过滤器→高压泵→反渗透装置→中间水箱→中间水泵→混床→纯水箱→输送泵→紫外/臭氧杀菌→终端过滤→用水点(另配RO膜清洗装置)

电子级超纯水中国标准(GB/T11446.1-1997)

  www.qkhb.net/products/product_37.html
 

 
项目
级别
比电阻
MΩ.cm
μg/L
>1μm微粒数<个/ml
细菌个数<个/ml
铜≤
μg/L
锌≤
μg/L
镍≤μg/L
钠≤
μg/L
钾≤
μg/L
氧≤
μg/L
硝酸根≤
μg/L
磷酸根≤
μg/L
硫酸根≤
μg/L
总有机碳≤
μg/L
EW-Ⅰ
18(95%的时间不低于17)
2
0.1
0.001
0.2
0.2
0.1
0.5
0.5
1
1
1
1
20
EW-Ⅱ
15(95%的时间不低于13)
10
5
0.1
1
1
1
2
2
1
1
1
   

  
系统特点:
●系统采用全自动控制(同时亦可采用手动控制),系统运行时可设定自动反洗、再生程序;
●一级反渗透和二级反渗透设有回流管道,反渗透设备设有化学清洗装置和消毒装置;
●在一级反渗透和二级反渗透间设有PH调节装置,以保证设备产水电导率符合药典要求;
●二级反渗透膜采用带正电荷的抗污染反渗透膜,以保证反渗透设备能*稳定运行;
●一级反渗透管路采用304不锈钢材料,二级反渗透采用316L不锈钢材料;
●在*级反渗透和第二级反渗透设备中均装有在线电导检测仪表,产水电导率可随时观看;
●一级反渗透前设有低压保护开关,二级反渗透前设有低压保护和高压保护开关;
●一级、二级反渗透水回收率可调整,一级反渗透回收率60%-65%,二级反渗透回收率70%;
●前处理装置均采用*件;前处理设备间管路采用UPVC管材。
●纯化水储水罐带呼吸过滤器,输送管道装有紫外线杀菌器和微孔过滤器,保证纯水符合卫生要求;
光电行业水质标准:
     我公司电子级超纯水设备出水水质*符合美国ASTM纯水水质标准、我国电子工业部电子级水质技术标准(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五级标准)、我国电子工业部高纯水水质试行标准、美国半导体工业用纯水指标、日本集成电路水质标准、国内外大规模集成电路水质标准。
光电行业对水质的要求:
     新兴的光电材料生产、加工、清洗;LCD液晶显示屏、PDP等离子显示屏、高品质灯管显像管、微电子工业、大规模、超大规模集成电路需用大量的高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高,对水质的要求也越高,这也对超纯水处理工艺及产品的简易性、自动化程度、生产的连续性、可持续性等提出了更加严格的要求。
应用场合:

     ☆半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路;
     ☆LCD液晶显示屏、PDP等离子显示屏;
     ☆高品质显像管、萤光粉生产;
     ☆半导体材料、晶元材料生产、加工、清洗;
     ☆超纯材料和超纯化学试剂、超纯化工材料;

     ☆实验室和中试车间;

     ☆汽车、家电表面抛光处理;

     ☆光电产品;
     ☆其他高科技精微产品;
典型电子级超纯水制备工艺:          ☆预处理----反渗透----水箱----阳床----阴床----混合床----纯水箱----纯水泵----紫外线杀菌器----精制混床----微孔膜过滤器----用水对象
     ☆预处理----一级反渗透----pH调节装置----中间水箱----二级反渗透----纯水箱----纯水泵----紫外线杀菌器----微孔膜过滤器----用水对象
     ☆预处理----二级反渗透----中间水箱----水泵----EDI装置----纯水箱----纯水泵----紫外线杀菌器----微孔膜过滤器----用水对象          新工艺
     ☆预处理----二级反渗透----中间水箱----水泵----EDI装置----纯水箱----纯水泵----紫外线杀菌器----抛光混床----TOC分解器----微孔膜过滤器----用水对象        工艺
部分产品规格:
型 号
产水量(M3/H)
管 径(mm)
工作压力(MPa)
    质
工作方式
MOLELCTRON-0.5
0.5
DN20
≤1.6
不锈钢/碳钢
全自动/半自动
MOLELCTRON-1
1
DN25
≤1.6
不锈钢/碳钢
全自动/半自动
MOLELCTRON-2
2
DN32
≤1.6
不锈钢/碳钢
全自动/半自动
MOLELCTRON-3
3
DN40
≤1.6
不锈钢/碳钢
全自动/半自动
MOLELCTRON-5
5
DN50
≤1.6
不锈钢/碳钢
全自动/半自动
MOLELCTRON-10
10
DN75
≤1.6
不锈钢/碳钢
全自动/半自动
MOLELCTRON-20
20
DN100
≤1.6
不锈钢/碳钢
全自动/半自动
MOLELCTRON-30
30
DN125
≤1.6
不锈钢/碳钢
全自动/半自动
MOLELCTRON-40
40
DN150
≤1.6
不锈钢/碳钢
全自动/半自动
MOLELCTRON-50
50
DN200
≤1.6
不锈钢/碳钢
全自动/半自动

 

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