* 真空舱体 Φ100mm × L270 mm 水平 （2 升）
* 外形尺寸W345mm ×H220mm ×D420mm
* 不锈钢舱体
* 40KHz 射频发生器
* 高效针孔电极
* 铜气体管、气体流量计、针阀
* 使用气体流量计和针阀控制气体
* 自动计时器控制等离子处理过程
* 半自动控制
* 功率连续可调 0-100W
* 自动阻抗匹配
* 自由设置参数：处理时间、功率、气体
* 安全保护功能：真空触发、舱门锁
* 电磁阀保护，回流油雾不能进入舱体
* 规格：W345 mm×H220 mm× D420 mm
* 电源：AC 220V/50Hz
* 真空泵：莱宝Leybold Type S1.5（1.5m3/h）
选装件
* 13.56 MHz 射频发生器
* 2.45 GHz 射频发生器
* 硅酸盐舱体（外置环形电极）或石英舱体
配件选装指南:
· 13.56MHz射频发生器
· 2.45GHz射频发生器
· 半自动控制系统
· 全自动控制系统 - 操作轻松简便的控制系统
· 计算机（PC）控制系统 - 操作轻松简便的控制系统同时可记录处理的整个过程
· 附加气体通路
· 自动真空舱门· 设备自动门
· 条码阅读器
· 偏压测量系统
· 碟型阀
· 排气过滤系统
· 适用于腐蚀性气体系统
· 舱体托盘可订做 - 适合舱体的*尺寸
· 粉末处理装置
· 法拉第容器
· 气体供给系统 - 在等离子聚合过程中提供密度均匀的单体
· 玻璃舱体（硅酸盐或石英）
· 预热板
· 等离子测量传感器 - 应用在等离子聚合过程和含腐蚀性环境中
· 真空泵抽气入口过滤器
· 标签打印机
· 标签阅读机
· 加深舱体
· 单体瓶 - 轻松的控制不稳定的液体含量
· 网络连接系统
· 聚合处理附件
· 气瓶出气减压阀
· 石英玻璃皿
· 卷轴舱体系统- 适用于批量处理薄膜、箔等
· RIE电极（适用于刻蚀）
· 旋转舱体系统 - 适用于纤维、纺轮、颗粒状等样品的均匀、批量处理
· 安全阀
· 服务条约 - 使用易燃、易爆性气体，例如：氢气、乙炔…
· 附加的配件
· 特殊的电极和托盘
· 特殊法兰/附加法兰
· 特殊软件
· 特殊真空舱体
· 过程温度测量
· 测试墨水（用于测试表面接触角）
· 真空泵系统
