一般的真空蒸发设备,在正常状态下能达到3×10-3帕。时间抽长点,钟翠内部等支架比较干净时,能抽到7×10-4帕左右。如果系统长时间进入不了10-3帕,说明高真空部分有毛病。雅之雷德生产上遇到的原因有以下两种:
a.上旁通阀门密封圈松或损坏
蒸发设备几个阀门中,此阀的故障率是zui多的。这不是因为它的开闭次数。主要原因是抽大气时,大量气体先经过它,故钟罩中蒸发时残留下的微粒,如金属、介质皮屑常被气流吸卷着穿过此阀.其中一部分会粘到蝶阀的橡皮密封面处(通常装阀时在密封面处涂上一层真空脂,故更易粘附)造成阀门关闭不严。从而使高压强一端(低真空管路中)的气流通过此阀漏入高真空区,造成高真空抽不上。判断此阀故障比较简单,转动阀门手柄。如阀门关不到原位或到位很松(正常状态时阀门快关到位时有锁紧的手感),估计毛病在此。进一步证实,可以用钟罩放气来验证,方法是把主阀和上下旁通阀都关闭,钟罩放大气,好凯德进口真空泵如有抽大气的响声即可证明。
修复的方法是拆下阀门,发现坏损的密封圈就要更换。如没损坏只是碎屑粘上,可用绸布蘸上酒精擦掉。对松的密封圈可在阀盖和阀杆中间垫金属片(约0.2毫米~0.6毫米),具体垫多厚为宜,全凭搬动手柄人手的感觉,松紧要适中。
b.扩散泵中的问题
通常好凯德进口真空泵抽到1。帕,加热扩散泵一小时左右,真空度就能进入4×10-3帕。若*停在10-2帕,说明扩散泵以上部位有问题。是扩散泵本身问题,还是钟罩上部的问题,可以关闭主阀判断。方法是关闭主阀,记录压强随时间的变化数值,划出曲线。通过曲线判断是系统有漏气还是扩散泵的问题。
