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东莞市雅之雷德机电科技有限公司

微型隔膜真空泵

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经营模式:生产厂家

商铺产品:3000条

所在地区:广东东莞市

联系人:何先生 (销售经理)

公司动态

好凯德真空泵在半导体制造业中的运用

阅读:82发布时间:2016-12-27

在半导体制造业中有很多种不同的进口真空泵。雅之雷德机电把它们分成两类:初级泵和真空泵。初级泵有几种用途:在腔内创造近似中级真空(压力小于10-3托);清空多腔集成设备中接收硅片的区域(如真空锁);为真空泵抽气.真空泵用来获得压力范围10-3托到10-9托的和超真空。新型晶片厂中使用的好凯德真空泵是干性的,意味着其内部没有任何可能回流到工艺腔中沾污硅片的油或润滑剂。


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