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小型快速退火炉

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更新时间：2022-08-25 14:27:22浏览次数：250次

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北京维意真空技术应用有限责任公司

经营模式：生产厂家

商铺产品：79条

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产品简介

此款小型快速退火炉是集成仪最巧妙的结构设计和的加热方式与一体，使得体积和功率都大幅减小的同时，升降温速率却比传统退火炉提升了数倍之多。它既可以通气氛又可以抽真空，满足了很多用户对小样品快速退火的工艺要求。　　应用范围：　　Ø快速热退火(RTA);离子注入后退火　　Ø石墨烯等气象沉积，碳纳米管等外延生长　　Ø快速热氧化(,RTO);热氮化(RTN);　　Ø硅化(Silicidation);　　Ø

详细介绍

　　此款小型快速退火炉是集成仪最巧妙的结构设计和的加热方式与一体，使得体积和功率都大幅减小的同时，升降温速率却比传统退火炉提升了数倍之多。它既可以通气氛又可以抽真空，满足了很多用户对小样品快速退火的工艺要求。

　　应用范围：

　　Ø 快速热退火 (RTA); 离子注入后退火

　　Ø 石墨烯等气象沉积，碳纳米管等外延生长

　　Ø 快速热氧化 (,RTO); 热氮化 (RTN);

　　Ø 硅化 (Silicidation);

　　Ø 扩散 (Diffusion);

　　Ø 离子注入后退火 (Implant Annealing);

　　Ø 电极合金化 (Contact Alloying);

　　Ø 晶向化和坚化 (Crystallization and Densification);

　　主要特点：

　　Ø 极速升温20℃/S，极速降温20℃/S;

　　Ø 控温稳定，恒温精度≤1℃

　　Ø 体积小巧，使用功率只有1kw;

　　Ø 超高光线反射效率，无需炉膛保温;

　　技术参数：

产品名称	mini快速退火炉
产品型号	RTP1000S
极限温度	1000℃
额定温度	1000℃
控温精度	±1℃
升温速率	20℃/S(900-1000℃升温3-5℃/S)
降温速率	随炉冷却75℃/min 物料台拉出降温800℃/min
控制方式	智能PID
加热方式	短波红外线加热
加热腔体结构	石英管
样品冷却	自然冷却或通入冷却气体
冷却气体调节	浮子流量计(100～1000ml/min)（选配）
超温保护	温度出现过高时切断主回路
恒温区尺寸	35mm
载料体尺寸	30*25mm
传感器类型	K型
真空系统	1L/S 双级联真空系统 CHY-4C（选配）
整机真空度	3Pa（选配CHY-4C真空泵）
抽气端口尺寸	KF16
供气口尺寸	1/4英寸双卡套
额定功率	1.5kw
额定电压	AC220V,50Hz
重量	15kg
配件	坩埚钳1把，说明书1本。
外形尺寸	610x400x410（长宽高）