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XH-MP150A手动探针台

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更新时间：2022-07-12 14:53:44浏览次数：791次

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北京羲和阳光科技发展有限公司

经营模式：生产厂家

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产品简介

XH-MP150A设备是增强型手动分析探针台，用于为各种半导体芯片、微波器件等提供一个光、电参数测试、分析的平台，可吸附多种规格的圆片及芯片，并提供可调测试针及探卡测试针座。适用于大学、实验室、大生产线对芯片进行科研分析、抽查测试等用途。设备可代替美国CASCADE公司的EPS150系列的手动探针台。

详细介绍

技术参数：

项目			性能指标
可测圆片尺寸			2″、3″、4″、6″
工作台	行程		160mm×160mm
	结构		精密高刚性直线导轨，滚珠丝杠
	分辨率		0.001mm-0.01mm（根据需求丝杆导程可选）
	操作方式		手轮
承片台Z向	接触/分离		行程0.5mm
承片台θ向	微调范围		±15 º
针座平台（可选）	升、降行程		25mm
	接触/分离		0.66mm
吸片盘	吸片方式		真空吸附
	分档		（2″、3″）、4″、6″单独真空吸附，三档可选
上、下片方式（可选）			快速抽屉式上、下片
显微镜及配件	立柱式支架		前、后，上、下、旋转，仰角四维可调
	微调支架（可选）		X方向120mm，Y方向60mm，手轮调节
	显微镜		双目体视显微镜45X
	照明灯		LED环形灯
相关配件	打点器		可调三维座，驱动DC24V
	测试探针		高弹性钨针
	三维针座		磁性吸附式，可调范围：x: ±6.5mm, y: ±6.5mm， z: ±6.5mm
外形尺寸			610mm×560mm×500mm（长×宽×高）
设备重量			约30 KG
使用环境		电源	AC 220V±22V 50Hz±1Hz
		功率	0.05kW
		真空	-80 KPa
		环境温度	15ºC-30ºC
		相对湿度	＜60%