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光电产品制造

5.4.1 产污环节与现状

在光电产品制造行业中，产生废气污染的主要有五类产品的生产过程：半导体集成电路、

TFT-LCD 、 LED 、印制电路板（    PCB）、电子终端产品。

（ 1）半导体集成电路

半导体制造工艺中    VOCs 主要来源于光刻、显影工序，在这些工序中要用有机溶液（如异丙

醇）对晶片表面进行清洗，其挥发产生的废气是有机废气的来源之一。同时，在光刻过程中使用

的光阻剂（光刻胶）中含有易挥发的有机溶剂，如乙酸丁酯等，在晶片处理过程中产生的有机废

气也要挥发到大气中，是    VOCs 产生的又一来源。

（ 2） TFT-LCD

包括检查和测试在内，    TFT-LCD    的制造生产工艺可达到    100 多道工序，生产过程中使用多

种化学有机溶剂和特殊气体，产生的    VOCs 量大，组分复杂。    TFT 液晶面板生产排放    VOCs 污染

物的工序主要集中在阵列工程和彩膜工程两大部分。阵列工程中的光刻（涂胶、曝光和显影）    ，

以及彩膜工程中的黑色矩阵    BM  膜制造、彩色矩阵膜形成（红、绿、蓝，    RGB）、保护膜生成、

MVA 膜、 PS（PHoto Spacer）膜生成是产生 VOCs 的主要工艺。同时，在成盒工程中清洗工序使用的有机溶剂挥发也会产生少量的 VOCs 。TFT-LCD 的制造过程中产生的 VOCs 主要是以异丙醇

为主，其次依序是丙酮、单甲基醚丙二醇、单甲基醚丙二醇乙酸酯，这四种成分占了全部    VOCs

量的 90%以上。

（ 4）印制电路板（  PCB）            
在单面、双面和多面印制电路板制作工艺中，产生的    VOCs 工艺环节相对较集中，主要来源
于贴膜、烘干、沉铜、印刷等工序，    VOCs 排放种类主要有甲醛、醇类（乙醇、异丙醇、丁醇、
丙醇）、酮类（丁酮） 、酯类（乙酸乙酯、乙酸丁酯）    、甲苯、二甲苯等。同时，在有机溶剂的贮
存过程中也会有部分    VOCs 产生和排放。        
（5）电子终端产品            
在电子终端产品制造中，   VOCs 的主要来源包括电路板清洗剂有机废气（使用有机溶剂型清
洗剂）、电路板三防喷漆废气、机壳（机箱）喷漆废气、机壳注塑废气。这些废气均来自工位上
的局部排风系统，特点是排风量大、浓度低。        
电子终端产品制造业可能产生的污染源、产生污染物的工序和主要污染物
5.4.2 末端治理技术

（ 1）半导体集成电路、    TFT-LCD  和 LED 废气治理技术

半导体集成电路、    TFT-LCD  和 LED 三类产品的生产中所产生的废气的情况大致相同，除了

VOCs  以外，还含有酸性气体、碱性气体和一些有体，风量大、浓度低。一般采用水吸收    +

沸石转轮吸附浓缩    -高温焚烧的组合技术进行治理。

*步通过水吸收（吸收塔）可以去除废气中的酸性气体、碱性气体和有体。在有些情

况下，酸性气体、碱性气体和集中单独排放，不含有机物或有机物的浓度很低，只通过

水吸收工艺即可，无需加装吸附设备。如    TFT-LCD  的刻蚀工艺废气治理。

第二步沸石转轮（转筒）吸附浓缩    +高温焚烧，对去除了酸性气体、碱性气体

低浓度有机废气通过沸石转轮（转筒）吸附浓缩后进行高温焚烧净化。该技术目前在国外已经被

普遍采用，特别是在中国台湾地区大量的液晶显示器（    TFT-LCD ）的生产企业中均采用的是该技术。

该技术净化效率高（可达    95%以上）、运行稳定、安全性好，目前在电子生产行业废气治理中尚

无更好的技术能够取代。