废气介绍：由于半导体工艺对操作室清洁度要求*，通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气，因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。废气排放也以挥发为主。这些废气主要可以分为四类：酸性废气、碱性废气、有机废气和有毒废气。

废气危害：半导体制造工艺中产生的废气如果没有经过很好的处理进行排放，将造成严重的问题，不仅影响人们的身体健康，恶化大气环境，造成环境污染的公害事件等，也会成为半导体制造中AMC污染的重要来源。

半导体废气处理

处理方法：依据这些废气的特性，在处理上采用水洗、氧化/燃烧、吸附、解离、冷凝等方法，针对不同污染物，可采取以下综合处理方法：1.一般排气系统 2.酸性、碱性废气处理系统 3.有机废气处理系统等。半导体废气处理设备半导体废气处理设备

随着工业化程度的不断提高，VOCs的污染有进一步扩大的趋势。而随着zui近环保政策的愈加严厉，对有机污染废气的排放控制就显得更为重要了。当前，VOCs治理有两类基本技术，一类是回收技术，治理的基本思路是对排放的VOCs进行吸收、过滤、分离，然后进行提纯等处理，再资源化循环利用。另一类是销毁技术，处理的基本思路是通过燃烧等化学反应，把排放的VOCs分解化合转化为其他无毒无害的物质。目前，这两类技术都得到研究和应用。