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上海添时科学仪器有限公司
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OTF-1200X-50S-PE是一款小型等离子体气相沉积管式炉系统（PECVD）。该设备配有等离子射频电源，开启式管式炉（带有真空法兰和连接管道）及一个直联式双旋机械泵。此套设备模型可组合为不同类型的PECVD系统，且设备性价较为理想。
产品特点：
•射频电源可实现等离子增强从而显著降低实验温度；
•整套设备尺寸小巧；
•可通过工艺调节来控制化学计量；
•可通过射频电源的频率来进行控制薄膜的应力。
加热炉参数：
•温度：1100℃（《30min）；连续工作温度：1000℃；
•PID温度控制器及30段可编程温控系统，控温精度：±1℃；
•输入电源：208- 240V AC，功率：1.2KW；
•炉膛保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维，并且内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层，可以提高加热效率，反射率及延长仪器的使用寿命。
射频电源：
真空系统：
•采用TRP-12的双旋真空泵；
•KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵;
•真空度可达10-2Torr。
产品尺寸和重量：
•尺寸：1500mm L'600mm W'1200mm H
•净重： 75 kg
质保：
一年保质期，终身维护，不包括炉管，硅胶密封圈和加热元件
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