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产品简介
详细介绍
CAT系列臭氧尾气破坏器能够安全的分解高浓度臭氧到亚ppm浓度级，远远低于推荐的安全臭氧浓度。该仪器使用金属氧化物被动催化臭氧转化为氧气。CAT-O3系列臭氧破坏器的外壳由不锈钢焊接而成，并配有热屏蔽层。该设备的设计能够满足行业内严格的安全标准。
CAT系列臭氧尾气破坏器特征
1、全焊接结构
2、安装简单
3、反应时间快
4、无耗材
应用
化学气相沉积(CVD) 硅酸乙酯/臭氧(TEOS/O3)
原子层沉积(ALD)
有机金属化合物化学气相沉积
（MOCVD）
灰化(Ashers)
湿法处理流程(Wet Benches)
喷涂工具
臭氧具有的强氧化性是因为臭氧分子中氧原子具有强亲电子或亲质子性。臭氧分解后产生新生态氧原子，在水中可形成具有强氧化作用基团-羟基自由基，可快速除去废水中的有机污染物，而自身分解为氧，不会造成二次污染。
目前认为臭氧与有机物的反应有2种途径：
（1） 臭氧以氧分子形式与水体中的有机物直接反应。
该方法选择性较强，一般攻击带有双键的有机物，对芳香烃类和不饱和脂肪烃有机化合物的效果更好。
（2） 碱性条件下臭氧在水体中分解后产生氧化性很强的羟基自由基等中间产物，羟基自由基与有机化合物发生氧化反应。
该氧化方式无选择性。
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