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低温等离子是一种聚集态物质,它不同于我们所认识的固体、液体、气体,它是物质的第四种形态,在运行过程中当外加电压达到了气体放电的电压的时候,气体就会被击穿,这时就会产生出各种离子和原子在内的混合体,虽然在放电过程中电子的温度非常高,但是重粒子的温度却是很低的,这时整个体系都会呈现出低温的状态,因此它也就被称之为是低温等离子体了。
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