罗茨真空泵机组是以罗茨泵为主泵, 以单级或双级旋片泵做为前级泵串连而成。保留罗茨泵工作迅速、有较大抽气速率的优点。所以该机组被广泛运用于化工行业的真空蒸馏、真空蒸发、脱水结晶；食品行业的冷冻干燥，医药行业的真空干燥等工艺过程中。

罗茨泵真空泵机组工作性能：
根据各个真空系统工作压力有所不同，在选配机组时必须掌握以下几点：
1. 主泵必须在其较佳工作范围内工作； 
2. 主泵或中间泵与前级泵的压缩比不得其超过允许范围； 
3. 前级泵与罗茨泵的配比尽可能小，当前级泵性能有所下降时，对系统的抽真空性能不会有大的影响。

真空机组故障分析与解决方法：
极限压力不高
管道、系统漏气——系统检漏
泵部分漏气——对泵进行检漏
前级泵极限压力下降——修理或更换前级泵
润滑油太脏或牌号不符——更换润滑油
油封磨损——更换油封
旁通阀处漏气——对旁通阀进行清理

使用范围：
使用于抽吸空气及其它无可凝性、无腐蚀性的气体，广泛应用于需要大抽速和需要获得低、高真空的各种真空系统，更是粗真空和中真空系统*。例如：真空冶炼、钢液脱气、真空烧结、大型空间模拟实验中的动态真空的获得，电力电容器、变压器真空浸渍处理，日光灯管、灯泡自动生产线上的排气，保温瓶胆的连续排气，真空镀膜设备中的预抽，镁还原过程中的抽气，单晶硅提炼过程中的除气等等。
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