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株洲红亚电热设备有限公司


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化学气相沉积石墨化一体炉

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具体成交价以合同协议为准

产品型号

品       牌

厂商性质生产商

所  在  地株洲市

更新时间:2017-12-08 14:09:31浏览次数:369次

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经营模式:生产厂家

商铺产品:9条

所在地区:湖南株洲市

联系人:言亚军 (总经理)

产品简介

株洲红亚电热设备有限公司生产的化学气相沉积炉主要用途:
本化学气相沉积石墨化一体炉可用于以碳氢气体(如C3H8等)为碳源的复合材料的化学气相沉积,如C/C复合材料、SiC复合材料等的CVD、CVI处理、石墨件的表面增碳处理、石墨烯的生产。

详细介绍

特点:

采用多功能高温设计,可实现化学气相沉积和石墨化处理一次性完成。

使用温度高达2600,并可长时间稳定可靠运行。

采用热电偶和红外测温仪组合的测温自动转换系统,可实现全温度段的显示和控制。

采用IGBT为主功率器件的感应加热变频控制系统,使得设备节能省电,谐波分量小,对外部设备无干扰。

进出气体的精确流量显示和控制,保证了产品的稳定性。

采用特殊结构沉积室,密封效果好,抗污染能力强; 

采用多通道沉积气路,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好;

特制的过滤系统,对炭沉积过程中产生的焦油、固体粉尘、有机气体等能进行有效处理

化学气相沉积石墨化一体炉技术参数

参数

型号

HYSJL-3040

HYSJL-4050

HYSJL-5060

HYSJL-6080

HYSJL-8080

工作区尺寸DXH(mm)

Ф300X

400

Ф400X

500

Ф500X

600

Ф600X

800

Ф800X

800

zui高工作温度(

1500

2600

1500

2600

1500

2600

1500

2600

1500

2600

温度均匀性(

±7.5

±7.5

±7.5

±7.5

±7.5

工作电压(V)

三相380

额定功率(KW)

40

80

60

150

80

160

90

200

160

350

工作气氛

真空/氩气/氮气/氢气/炳烷/石油天然气

以上化学气相沉积炉技术参数可根据工艺参数进行调整,不作为验收依据,具体以技术方案和协议为准。可将化学气相沉积和高温石墨化两种功能分开,单独做成化学气相沉积炉和高温石墨化炉。

 


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