电阻率测试仪(以下简称电阻率测试仪)是用来测量半导体材料(主要是硅单晶、错单晶、硅片)电阻率，以及扩散层、外延层、ITO导电薄膜、导电橡胶方块电阻的测量仪器。测试仪主机由主机板、电源板、前面板、后背板、机箱组成。电压表、电流表、电流调节电位器、恒流源开关及各种选择开关均装在前面板上。后背板上只装有电源插座、电源开关、四探针头连接插座、数据处理器连接插座及保险管。机箱底座上安装了主机板及电源板，相互间均通过接插件联接。
特点是主机配置双数字表，在测量电阻率的同时，另一块数字表(以万分之几的精度)适时监测全程的电流变化，免除了测量电流/测量电阻率的转换，更及时掌控测量电流。主机还提供精度为0.05%的恒流源，使测量电流高度稳定。
电阻率测试仪配有恒流源开关，在测量某些薄层材料时，可免除探针尖与被测材料之间接触火花的发生，更好地保护箔膜。仪器配置了“小游移四探针头”，探针游移率在0.1~0.2%。保证了仪器测量电阻率的重复性和准确度。本机如加配数据处理器，测量硅片时可自动进行厚度、直径、探针间距的修正，并计算、打印出硅片电阻率、径向电阻率的百分比变化、平均百分变化、径向电阻率不均匀度，给测量带来很大方便。
电阻率测试仪适用：电线电缆行业、导体及半导体材料行业，碳素、焦化、石化、粉末冶金、高等院校、科研部门对新材料之研究，是检验和分析材料样品质量的一种重要的工具及有效方法。
