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全自动碳化硅外延最终清洗机

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更新时间：2022-08-15 15:00:39浏览次数：298次

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北京华林嘉业科技有限公司

经营模式：生产厂家

商铺产品：10条

所在地区：北京北京市

联系人：Henry （大区经理）

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产品简介

生产主线为： Load，药液A槽1、QDR槽2……干燥槽N、Unload，共X个制程工位, 设置为6" *1 cassette晶舟上货，将晶舟置于Robot上货区位置，按下『启动键』，Robot将自动以夹持方式移至制程槽进行预设之制程，完成设备本身设定之流程，达成一贯性自动控制的功能。本设备电器控制部分关键件均采用进口优质件，性能可靠，使用寿命长；及背部设有吸风口，为防止污染空气，用户需外接风管抽......

详细介绍

产品详情：

项目		说明
机台数量		1台（套）；
机台重量		XX Kg(预估值)；
清洗能力（采购方提供cassette样品）		6inch 1cassette / Batch 25 Pcs/cassette；
产能要求		湿法制程清洗工艺XXXX XXXPCS/ Run（按照30min/Run，50PCS/Run，22小时/天，26天/月计算，预估值）；
设备形式（洁净度：千级洁净室）		室内放置型；
机台封面、主要结构材质		聚丙烯PP 10T（）；
		阻燃聚丙烯PP10T （）；
		色聚氯乙烯PVC 10T （√）；
		SUS304单镜面板材1.5T（）；
机台视窗	材质	透明之聚氯乙烯PVC 5T （√）；
		SUS304单镜面板材及钢化玻璃5T（）；
	模式	上下举升式（）；
		左右推拉式（√）；
机台主机强度结构		整体SUS304不锈钢/碳钢结构骨架（4040 4080）；
防漏盘	材质	聚丙烯磁白PP板材；
	模式	分体式每侧尺寸比设备本体长50mm；
漏液检测装置	材质	防腐材质；
	点式	单点式漏液检测sensor，管路区和防漏盘均安装漏液检测；
其它	水平调整	通过地脚调整设备水平；
	设备移动	设备装有树脂脚轮以备设备移动之用；
台面板	材质	￠5mm左右洞洞结构（√）；
		￠12mm左右洞洞结构（）；
		相邻槽之间须有接水板，接水板须倾斜放置，用以盛接花篮经过时漏液（√）；
	模式	可拆式（√）；
		一体式（）；
排风系统	排风口位置	设备后顶部（）；
		设备后下部（）；
		设备后部（√）；
	排风通道结构	1）排风强劲合理设计，为了排风效果达到，排风通道内设有风量导流板； 2)为了方便操作人员根据情况及时调节排风量，操作人员可小范围调节机台排风背板上的可拆卸式(以便清除可能产生的结晶)排风栅栏再配合机台视窗上的可调进气模块使用达到使用效果； 3)设备排风通道的底部带排液管，冷凝回流的废液通过管道排放至机台U型湿区内与QDR排出的废水混合稀释并排放至机台后方厂务废水专用管道内； 4）工艺腔内每个工艺槽对应位置都有可调节的栅格排风结构；
机台的电控系统		安装在机体的后部; 触摸屏及电源控制开关、照明等安装在设备正前方。各槽体的工艺过程均由 PLC、IPC、温控器、传感器等组成。设备具有上电手动操作复位功能。每个机台可存储 X 套工艺配方，操作者可通过触摸屏调用预先编制好的工艺配方。软件系统具有工艺配方参数设定、手动维护、自动运行、状态监控等画面。软件具有报警信息、历史记录、维护信息等系统记录。软件系统具有 3 级加密进入权限设置：分别为设备作业员、设备工程师、工艺工程师，不可混用权限；

规格特点

01）溢流工艺的应用，保证了药液槽之间的隔离效果和清洗的高洁净度；
02）优化配管设置，节约DIW消耗量；
03）工艺柔性化设计，工艺更改方便迅速；多工艺数据库，可供用户使用和存储；
04）整机在使用、运行过程中平稳、可靠、不产尘、无溢出油污等，需润滑的零件必须密封处理；
05）整机采用PLC控制，IPC显示，清洗槽定温控制，过温保护及超(兆)声低液位保护；
06）整机采用全封闭设计。设备运行峰值噪音小且操作、维护和维修方便；
07）整机耐酸碱溶液及挥发气体的腐蚀，电器元件正常安全使用；
08）机台设有紧急停止回路（EMO急停按钮，设备两端各一个），并按照标准设置接地保护断路器；
09）整机前后区隔离，底板倾斜设计，便于排液，处设有漏液报警，前后区域均设水枪，确保漏液及时冲洗；
10）清洗槽体及管路配有明显标识或防错设计，防止溶剂混用；
11）设计合理化的排风管路，使有机液挥发气体的污染最小化；
12）设备内部输水、输气管道管线布置于主体设备内部；
13）废水按照高氟、低氟、酸碱、酸碱含醇四类排放；
14）设备内废气总管路可用维护区水枪清洗，清洗废液流入有机、酸碱废液总管；
15）工艺溢流槽体都需具有外槽独立溢流方式，需采用四面溢流；如果无法实现，至少需要三面溢流；
16) 设备后方、左右两侧需留有方便维护、维修的窗口；
17）机台排风口处安装排风压力监测装置（带信号报警装置）；
18）机台总进口处（N2或CDA）安装有压力监测装置（带信号报警装置）；
19）工艺槽槽体倾斜式，便于排空；
20）机台电器部分具备正压N2保护，防止腐蚀；
21）溢流：IDLE TIME＞SET TIME，溢流停止，达到节能目的；
22）废液排放，每个工艺槽采用独立排放管道，对应QDR也采用独立排放口；
23）排风，工艺腔内每个工艺槽对应位置都有可调节的栅格排风结构；
24）换液提醒功能，所有制程能根据配液时间或运行批次数量通知换酸；
25）工艺结束可以设置预先报警功能，预报警声音和实际报警声音要有所区分；
26）工艺说明: 自动传动，自动方式实现槽体间传送工件，手臂按照菜单选择流程作业，生产部人员选取菜单进行作业，这个过程全自动进行；
27）全程自动化控制，工艺过程中没有人工干预，保证产品性能的一致性；
28）搬运机械手的横向移动和纵向提升均采用日本伺服马达，闭环控制，定位精度≤1mm，可靠性高；采用双导轨结构及线性模块传动，几何曲线加减速运动，冲击小、运动平稳；
29）搬运机械手臂单独急停、暂停开关、系统急停开关和机械手马达电机自动过载保护等多重保护，确保操作者的安全；
30）搬运机械手臂设有防夹防撞预警装置（光电传感器、机械传感器、机械装置等），以保护操作人员安全；
31）上下料方向：左进右出，花篮水平放置；
32）颗粒指标，尺寸大于XX μm的颗粒，密度不超过XX个/cm2；
33）目前金属离子残留测试，包括XX种元素：------,每一种金属元素残留指标均要求