超纯水处理系统在百级无尘室设计案例
项目背景：该超纯水处理系统应用于百级无尘室内中，该项目对超纯水处理要求高，原水水质为企业自来水要求，出水要求要达到百级芯片清洗水。进水经过预处理工艺，要进入二级反渗透膜工艺，对水质进行除盐过滤。同时，要进行EDI深度除盐处理设计，在末端再经过TOC脱除器脱除有机物以及抛光混床进一步精处理，最终经过超滤膜过滤后，出水水质就可以满足用水点的水质要求。
项目工艺：
水质要求：超纯水的水质指标要求：电导率≥18兆欧、TOC＜3ppb、particle（≥0.1um）＜3pcs/mL
现场照片：
项目实施：2020年5月进场，7月份完成建设并投入运行。
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