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万级无尘车间，硅片车间，晶圆车间

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厂商性质工程商

所在地郑州市

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更新时间：2019-05-18 09:11:03浏览次数：744次

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海博尔净化工程有限公司

经营模式：工程商

商铺产品：100条

所在地区：河南郑州市

联系人：周先生（经理）

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产品简介

产地	国产	净化级别	万级

万级无尘车间，硅片无尘车间，晶圆无尘车间

详细介绍

AMC来源于无尘车间内及室外空气。无尘车间内的AMC主要来源于以下几个方面：工艺牛产使用的各种化学品，工艺设备和原材料的气体释放，室内操作人员以及各种建筑材料等。室外空气中的AMC多少与IC厂房所在地的空气质量有关，且地方差异性较大，通常越是工厂集中的工业区来自室外的AMC就越严重。

3.2 AMC的控制

减少无尘车间内的AMC应从以下四个方面进行控制：

a)控制室内产生：工艺生产线本身是AMC大的产生源，因工艺生产中要使用各种化学品，这些化学品或多或少的要散发到室内空气中形成AMC，所以首先应从生产工艺上考虑尽量减少化学品的使用，另外应控制工艺设备的制作材料、涂料的释放气体。无尘车间的各种建筑材料也是AMC的一大来源，建筑材料引起的AMC涉及面较广，目前通常采取以下措施：尽量采用AMC释放低的建筑装修材料、涂料及密封材料，目前常用的建材中聚四氟乙烯、玻璃、不锈钢、铝合金、表面经烤漆处理的金属材料、高弹性聚氨脂涂料、环氧瓷漆等是可以接受的，而环氧树脂涂料、硅

密封胶、单/双面密封胶带、阻燃剂已不适用了；改进建筑材料加工工艺，提高加工精度，工程中尽量不用密封胶；洁净系统中的HEPA/ULPA过滤器应采用聚四氟乙烯( PTFE)或低硼低有机物的玻璃纤维制作，另外目前常用的DOP测试方法以及钠焰测试也是不能接受的，SEMATECH*采用以去离子水雾携带的固态聚苯乙烯(polystyrene latex，PSL)小球作为测试粒子；系统中的吸音材料尽量不用玻璃纤维，可以用发泡金属等材料代替；上静压箱用无密封的烤漆板制作；制作风管的材料必须脱脂，密封垫用丁基橡胶：无尘车间空间内的电缆也应采用AMC释放低的材料制作。

b)控制室外侵入：首先无尘车间空间等应密闭，使周围环境的AMC不渗入无尘车间；其次应防止室外空气中的AMC进入无尘车间内，为此有两个方面需要考虑，*是新风人口应合理，尽量远离排风口及其他污染源，另外建厂地点应合理。第二是IC厂所在地的室外空气中如含有对生产工艺敏感的AMC，则在室外空气送入无尘车间前应进行可靠的处理，根据室外空气中AMC的种类、浓度以及工艺要求在新风处理机组中设置相应的化学过滤器，也可以在新风处理机组中设淋洗装置加以去除。

c)控制扩散：对于生产中必须要使用化学品的工艺设备应尽量采取密闭措施，并设置可靠的排风，以减少化学品的散发。另外合理的气流组织对防止扩散也很重要，洁净系统设计时应充分考虑减少各区域的气流交叉。

d)化学过滤：采取了以上措施虽然可以降低无尘车间内的AMC浓度，但不可能*杜绝AMC的产生，而有些生产工序对AMC又比较敏感，虽然洁净系统中装有HEPA/ULPA过滤器，该过滤器对于过滤灰尘粒子有效果，但对于AMC几乎不起作用，所以有些生产区域还应设置化学过滤器，以去除无尘车间内的AMC。通常做法是在FFU的HFPA/ULPA过滤器与风机之间增设化学过滤器，针对区域一般是匀胶、显影区以及CVD区。