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1 产品简介
本产品设计用于满足STG-AT01与STG-3020中间的水蒸气发生需求。其蒸发量范围为(0.1-1.0)g/min,上限还可以扩展到2.0 g/min,而STG-3020在该区间内的流量稳定性不足。本产品同样具有STG-AT01的高精度和连续调节能力。
STG3001内置带有自动水位控制的去离子水储罐,有一路质量流量计进行载气计量,同时带有预热混合器和触摸屏控制,是一款全功能型发生器。
2 规格参数
蒸发量 sccm | 0.1-1.0(上限可拓宽到2.0) |
流量总量精度% | 优于±1 |
流量波动% | 优于±2 |
输出温度℃ | ≤200 |
最大耐压 bar | 15 |
功率 kW | 1.0 |
输出接口 | Ф6直管 |
外形尺寸mm | |
重量kg | 10 |
可加装配件 | (1) 已内置预热混合器 (2) 液位自动控制 (3) 输出伴热定制 |