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天津瑞利光电科技有限公司
产品介绍GT45A是一款基于ArF浸没式光刻光源GT65A平台,具备高功能扩展性的机型
GT45A是一款基于ArF浸没式光刻光源GT65A平台,具备高功能扩展性的机型。通过搭载新型模块实现的“高运转率”、继承当前机型GT40A的“无氦气”技术,可以在提高生产率的同时,减轻环境负荷。通过光谱宽度的稳定性改善、可变光谱技术、高可达90W的高输出功率,满足客户的多样化需求。
模块寿命延长技术
降低维护频率
提高生产率
减轻环境负荷
可以搭载GT65A可使用的功能和技术
产地:日本
发射波长:193 nm
平均输出功率:45 – 90 W
脉冲能量:11.25 – 15 mJ
发射频率:4,000 – 6,000 Hz
光谱幅度(以 95 %能量累计,E95,):≤0.5 pm
数据采集:监控的方式
输出方式:晶圆输出
光谱带宽:可变化
光谱宽度:稳定
半导体工业
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