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天津瑞利光电科技有限公司
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产品介绍ReflectionDHM是反射配置的全息显微镜
Reflection DHM 是反射配置的全息显微镜。它们是测量全反射和部分反射物体的理想选择。它们能够处理低反射界面(反射率低至1%以下),是对各种样品进行准确光学形貌测量的理想仪器。
有三种可用配置,由波长的数量和组合定义:
R-1000系列:单激光源
R-2100系列:双激光源
R-2200系列:三个激光源
产品:瑞士
配置:单激光源
特异性:单波长
测量模式:单波长
分辨率:亚纳米
测量:实时
精度(通过在30次测量中对1个像素进行时间标准偏差来证明):0.15 nm
垂直分辨率(定义为精度的两倍):0.30 nm
重复性(通过在SiC参考镜上进行30次重复性测量的一sigma Rq值来证明):0.01 nm
垂直测量范围(无任何扫描):连续结构可达200μm
带锐边台阶的高度(取决于激光源和工作波长):max. 333 nm
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