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aixACCT双光束激光干涉仪aixDBLI

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更新时间：2024-05-13 08:28:35浏览次数：152次

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产品简介

产品介绍机电大信号应变和极化测量

详细介绍

产品介绍

机电大信号应变和极化测量。

压电小信号系数和介电常数与直流偏置电压的关系。如果已知刚度值，则可以使用附加的aixPlorer软件工具从这些值得出耦合系数。

电气和机电性能疲劳。

作为电气薄膜测试的创新者，aixACCT Systems已将的双光束技术扩展到可商用的双光束激光干涉仪系统，该系统可进行长达8英寸的晶圆表征。用于测量d33的双光束激光干涉仪（aixDBLI）可提供经过验证的精度（x切割石英），可达0.2 pm / V。该系统的主要特点是单次测量的采集时间极短，仅为几秒钟。基于新的数据采集算法，测量速度提高了100倍。这使得比较了以相同激励频率记录的薄膜的电气和机械数据。由于差分测量原理，消除了样品弯曲的影响，这是使用原子力显微镜（AFM）进行此类测量的主要障碍。

产品参数

分辨率：1 pm通过x-cut Quartz测试

位移/应变测量：

50 Hz-5 kHz

100 mV至10 V

Max.25 V（可选）

压电d33系数：

偏压（1 mHz至1 Hz）：100 mV至10 V

Max.25 V（可选）

小信号（1 kHz至10 kHz）：100 mV至10 V

电致伸缩M33：与d33相似

C（V）测量：