集成电路废气处理方法

  集成电路中的废气主要有三种，即酸性废气、碱性废气和有机废气，下面韵蓝环保为您介绍一下集成电路废气处理方法。
  1、酸性废气处理流程
  集成电路工艺过程中产生的酸性气体，经过酸排气配管至入口的静压箱，经过洗涤塔至排放口的静压箱，除去了酸性物质后，经处理过的气体经过排气风机排放到大气中。
  洗涤塔有循环泵、循环水流量计、pH计、液位计等监控系统，用氢氧化钠作为中和的化学品，通过测定循环水的pH值来控制氢氧化钠的注入泵开关。经过排气处理的处理水集中排放至工厂的废水处理系统处理，达到工业排放标准后排放。通过循环泵将NaOH溶液加压并不断从喷嘴中以雾状喷出，喷出的NaOH溶液和废气中的酸性物质起中和反应，从而达到净化处理目的。
  必要时，可以添加次氯酸钠进行循环水杀菌处理。处理装置中的填料可以分散气流和水流，增加接触面积使酸性物质与NaOH充分接触，提高去除效率，此种处理装置处理效率高，阻力小且比较稳定，处理效率可达95%。
  2、碱性废气处理方式
  工艺过程中产生的碱性废气处理流程和酸性废气的流程类似，不过它是以硫酸作为中和用的化学品。集成电路生产中往往会产生大量的硫酸废液，一般碱性废气用的硫酸以生产中排放的废硫酸作为原料，这样可以降低碱性废气处理成本。
  3、有机废气处理流程
  有机废气主要有吸收法、吸附法、焚烧法、生物法等处理技术。吸收法是利用有机气体水溶性的特性，且添加次氯酸钠或过氧化氢等氧化剂，将有机废气中的有机气体去除。此方法因添加氧化剂不但处理成本增加，且易形成二次污染，故吸收法未得到普遍应用。
  生物处理法是利用微生物的代谢作用，将污染物分解成无害物质。生物处理法运行费用低，二次污染小，但处理条件严、持续时间长，占地面积大，故实际应用较少。
  焚烧法是利用高温焚烧过程将有机废气转换成CO2与H2O，根据废气的焚烧温度可分为750℃～850℃的焚烧化与350℃～450℃的催化燃烧二类，因触媒式易造成触媒毒化，故很少采用这种方法。
  吸附法是利用高孔隙率、高表面积的吸附剂，将废气中的有机气体分子分离，而净化有机废气。适用于集成电路废气处理方法有吸附设备和焚烧炉。