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CS200(A)数字式气体质量流量控制器(MASS FLOW CONTROLLER)
技术参数：
| 型号 | CS200(A) |
| 流量规格(N2) | ( 0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM (0～1,2,3,5,10,20,30,50)SLM |
| 准确度 | ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) ±0.35% F.S.(＜35% F.S.) |
| 线性 | ±0.5% F.S. |
| 重复精度 | ±0.2% F.S. |
| 响应时间 | ≤ 1sec |
| 阀类型 | Normally Closed or Normally Open |
| 工作压差范围 | (0.05～0.35) Mpa(≤10slm) (0.1～0.35) Mpa(20slm，30 slm) (0.2～0.45) Mpa(50 slm) ＜0.02MPa |
| 温度系数 | Zero: ≤±0.05% F.S./℃；Span: ≤±0.1% F.S.℃ |
| zui大工作压力 | 3MPa |
| 零漂 | ＜0.6%F.S. per year without autozero |
| 漏率 | 1×10-9 atm•cc / sec He(1×10-10 Pa•m3 / sec He) |
| 密封材料 | Viton;Neoprene |
| 表面粗糙度 | 25Ra |
| 工作环境温度 | (5～45)℃ |
| 输入信号 | Digital: RS485 DeviceNetTM Analog:(0～5)VDC or (4～20)mA |
| 输出信号 | Digital: RS485 DeviceNetTM Analog:(0～5)VDC and (4～20)mA |
| 电源 | ±11 ~ ±16 VDC or +11 ~ +28 VDC(400mA) |
| 电气连接 | D sub 9 pins male，D sub 15 pins male |
| 标准接头形式 | VCR1/4” M；SwagelokΦ3；SwagelokΦ6； SwagelokΦ10； Swagelok1/4”；W-seal；C-seal |
| 重量 | 1kg |
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