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技术文章

聚四氟乙烯一体成型槽半导体清洗设备中的应用

阅读:70发布时间:2022-12-28

       在半导体晶圆加工中,利用聚四氟乙烯材质耐腐蚀的特性,在聚四氟乙烯腐蚀槽中加入HF与二氧化硅反应,进行边缘剥离等。聚四氟乙烯槽通过模具一体模压烧结成型,整体无焊点,不需要担心滴漏的风险。在半导体生产中,如需要对大型的零件浸泡清理,就要用到大型的聚四氟乙烯焊接槽,上海昌卓公司可以从外支撑骨架,聚四氟乙烯槽体设计,配套的零件选型提供整体的服务。

       主要应用为:
          1、晶圆清洗槽
          2、温度加热清洗槽
          3、药液储存槽
聚四氟乙烯一体槽具有以下特点:
           1、
通过模具模压一体成型,不用担心泄露风险
           2、选用全新无污染的PTFE原材料
           3、可以长期耐受强腐蚀性液体
           4、耐温可达到200℃
           6、可以焊接接头零部件等
           7、排水孔的位置也可以自由设计
【上海昌卓】聚四氟乙烯槽用途非常广泛,化学试剂的长期存放,超高真空内部冷阱,有机溶剂的加热反应,金属材料的蚀刻等。上海昌卓是聚四氟乙烯制品专业的
服务商,可以来图来样定制,欢迎。



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