硅晶圆是现代微电子工业的基础材料，对于现代科技的发展具有至关重要的意义。微电子技术的发展已成为信息技术、航空航天、军事、通信、能源等众多领域的基础，而这一切都离不开硅晶圆的生产。而在硅晶圆制造工艺中还离不开一种设备的身影，那就是超纯水设备。

　　硅晶圆的制造过程中，需要使用大量的水进行清洗和蚀刻。如果水质中含有杂质，就会对硅晶圆表面造成划痕或腐蚀，影响产品的质量。超纯水设备可以去除水中的微粒、有机物、无机物和其他杂质，确保水质达到很高纯度，从而保证硅晶圆的质量。

　　硅晶圆生产中应用的超纯水设备主要采用的是预处理+反渗透+EDI+混床的组合形式来制备超纯水。设备具有高效低能、运行成本低，水资源利用率高、体积较小、维修量小，运行时间长等优点。并且设备采用的EDI模块可以避免添加任何化学品，不仅减少了化学品运输问题，同时降低了系统运行费用。EDI模块的应用不会产生酸碱废液，因此不需要酸碱中和处理，这也就减少了一定的投资成本。

　　硅晶圆作为现代微电子工业的基础材料，超纯水设备能够提供高纯度的水，可以有效避免因水质问题引发的硅晶圆被划而产生划痕等问题，保证了硅片的质量和性能。因此，超纯水设备是生产高质量硅晶圆的必要条件。