当硅晶圆被污染时，需要对硅晶圆进行清洗，以此保证它作为电子器械生产原料的纯净度。硅晶圆清洗并不是自来水冲洗就可以的，因为它是精密材料，必须要使用超纯水清洗才可以保护它不受杂质污染。超纯水设备是生产超纯水的专用技术产品，可以稳定连续地生产大批量品质安全可靠的超纯水。

　　超纯水设备采用了“双级反渗透系统+EDI模块"的技术工艺。反渗透膜可以有效去除水中含有的钙、镁、钾等金属离子和其他微量元素，还可以将细菌、微生物有效脱除。EDI系统有效保证了超纯水品质，脱盐处理过程中不会产生酸碱废液，不会给后续工艺带来处理负担，省去了酸碱中和处理的步骤，简化了生产工艺。

　　超纯水设备内部还设置了靶向离子交换系统，可以将难处理的硼及其他离子定向去除。由于反渗透膜技术的存在，在超纯水生产时可以实现系统的带电荷运行，离子迁移速度会更快，脱盐效果会更好。除此之外，超纯水设备还实现了高度自动化运行，操作非常灵活，节约了人员力量的投资成本。

　　超纯水的水质纯度高，主要用作工业生产原料水和精密器械清洗水。采用超纯水清洗硅晶圆能有效保证硅晶圆的无菌性和纯净度。超纯水设备可以稳定连续生产超纯水，不需要更换树脂，具有很高的应用价值。