由于半导体相关基础设施建设周期长、技术要求高,企业必须制定一套长期战略。某些领域的一些公司竞相开发先进技术,在半导体行业市场上展开竞争。为了进一步推动数字革命,我们需要更强大的计算和存储能力。换言之,便是更先进的半导体,制造更先进的半导体的基础就是用更高的水质,因此超纯水已经成为企业竞争的制胜法宝。
超纯水(UPW)是指电阻率达到18 MΩ·cm(25℃)的水。这种水中除了H2O外,几乎没有什么杂质或其他离子。超纯水可以分为国标《电子级水》和美标《电子和半导体超纯水质标准》。在半导体的生产过程中,几乎每道工序需要超纯水进行清洗,可见超纯水在半导体行业的重要性。
传统的超纯水处理方式为离子交换树脂,其工艺流程为:
原水→沙炭过滤器→精密过滤器→阳床→阴床→混床( 复床) →纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点
但是传统工艺缺点是浪费资源、需要酸碱再生,且不环保。为满足用户需要,达到符合标准的水质,尽可能地减少各级的污染,延长设备的使用寿命、降低操作人员的维护工作量,超纯水设备在工艺设计上,取自来水为原水,再设有介质过滤器,活性碳过滤器,钠离子软化器、精密过滤器等预处理系统、RO反渗透主机系统、离子交换混床(edi电除盐系统)系统等。
超纯水设备具有良好的应用价值,可实现自动控制,在一定程度上可以有效地达到我国电子水质标准,与传统工艺相比,具有自动化程度高,过程易实现自动控制,产水水质稳定等优势。
制造半导体需要大量的水,水资源管理对半导体工业至关重要。因此,随着人们需求的不断增长,超纯水成为了半导体行业发展的重中之重,对我国半导体产业的长远发展也具有重要意义。
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