单晶硅在生产过程中对用水要求十分严格，如果水质不合格会直接影响单晶硅的品质，导致单晶硅性能下降，如果把这种次品应用到其他产品中，也会影响到其他产品的性能，所以单晶硅超纯水设备成为了单晶硅生产过程中*的装置之一。单晶硅超纯水设备采用的主要工艺如下：

　　原水箱→原水提升泵→石英砂过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级高压泵→一级反渗透→级间水箱→二级高压泵→中间水箱→EDI提升泵→微孔过滤器→EDI系统→EDI水箱→抛光混床→用水点

　　单晶硅超纯水设备被广泛应用于太阳能电池、单晶硅/多晶硅硅片硅材料清洗、LED、LCD、光电光学行业领域中。单晶硅超纯水设备设计采用成熟、可靠、先进、自动化程度高的两级RO+EDI+抛光混床处理工艺，确保处理后的超纯水水质能够*符合单晶硅生产用水标准，使得生产效率更高、运行更加稳定、经济效益理想。