随着现代电子技术的快速发展,电子产品已经成为人们日常生活中*的工具,其中短、小、轻、薄已经成为了电子产品的主要发展方向,这也给电子制造工艺及清洗用水标准带来了很大的挑战:非极性污染物(松香树脂和油等)、极性污染物(助焊剂活性剂和盐等)及颗粒状污染物的残留,会直接造成印制板和元器件表面漏电、短路、断路或形成腐蚀导致失效,必然会影响电子工艺的顺利实施或产品的质量和可靠性。因此,必须在工艺实施的环节中加入清洗工序。我国早在1957年制订了电子级纯水标准,至今要求电子级标准2002年标准为18. 3M Ω . cm (温度25°C ),达到电子级超纯水的理论值。
电子级超纯水是指原水中的导电质几乎*去除,水中不解离的胶体物质、气体、微生物及有机物的含量降至较低的程度。常用于集成电路工业中用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制备和硅片氧化用的水汽源等,此外,其他固态电子器件、厚膜和薄膜电路、印刷电路和真空管等的制作也都要使用超纯水。
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