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晶圆瑕疵自动检测机

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更新时间：2024-02-01 19:52:17浏览次数：95次

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深圳市荧鸿科技有限公司

经营模式：生产厂家

商铺产品：143条

所在地区：广东深圳市

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产品简介

产品简介：自动化微小瑕疵检测

详细介绍

晶圆瑕疵自动检测机简介
A1000为深圳荧鸿半导体外观瑕疵自动检测机，可自动化检测晶圆表面的微小瑕疵。每台晶圆瑕疵自动检测机配一台显示器，相关信息可直观明了查看。更多详细情况可咨询！
晶圆瑕疵自动检测机技术参数

1-1外围部件
1	机架	利用地脚杯调整机台高度
1	机架	台板面到地面距离：1085±50mm
2	上罩	采用钣金焊接而成，表面烤漆
3	内部	1、装有离子棒，消除静电 2、各滑轨及运动轴承具备防油装置
4	显示器	19.5英寸显示器，分辨率1920*1080
5	警示灯	三色灯(带蜂鸣器)
6	门感应	门安全感应sensor
7	急停	1个急停按钮
8	无尘等级	Class 1000
9	电	电压：单相220V;电流：32A;功率：6KW;数量：1路；
10	CDA	CDA气管管径：10mm;数量：2根；压力：6kg/cm2;流量：300LPM; 连接方式：快插
11	PV	PV气管管径：10mm;数量，1根；压力： -80kpa;流量：300LPM; 连接方式：快插
12	UPS	具备UPS防断电装置，保护机台
13	设备接地	设备接地，保证标准AC接地<1Ω,辅助接地<4Ω