陈霞
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日本sanyu electron台式快速涂布机SC-708系列
特征
离子溅射设备，用于大型基材的全涂层
溅射靶材的尺寸为1英寸，例如4'/ 5'/ 6'/ 7'/ 8'。
在形成微通道流动路径以及溅射薄膜制造时支持PDMS表面处理
配备涂布模式/蚀刻模式
应用/结果示例
各种设备的电极膜附件
反光膜的制造应用
样品表面亲水处理的应用（蚀刻模式）
PDMS表面处理应用程序（蚀刻模式）等
日本sanyu electron台式快速涂布机SC-708系列
基本规格
| 阴极 | φ4-8英寸/ 2极电极 |
| 溅射电流 蚀刻电流 | 0-50mA（包括电流表） |
| 溅射电压 蚀刻电压 | 0.8 / 1.4kV |
| 气体导入机制 | 针阀 |
| 真空泵 | 直连式旋转泵：100l / min（有自动泄漏） |
| 箱体尺寸 | 内径φ240mmx D240mm（SUS制） |
| 样品交换方法 | 前门开合式 |
| 样本量 | z大φ4〜8英寸 |
| 尺寸（宽/深/高） | 主体：282/450 / 440mm RP：460/175 / 265mm |
| 重量 | 身体：约20kg RP：23kg |
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