陈霞
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| 测量范围 | 1 | 类型 | 数字式 |
|---|
日本nanogray X射线测厚仪SX-1100系列
使用软X射线（软X射线）的厚度计（膜厚度计）。以非接触方式（软X射线）测量薄片和板状物体的厚度和密度（基本重量）。通过直接与参考物质比较来计算厚度和密度（基本重量），而不是直接测量厚度。
通常，为了测量片材的宽度方向上的厚度分布，检测系统由扫描仪携带并进行测量。通常使用激光位移计作为不接触地测量厚度的手段，但是如果将激光位移计安装在扫描仪上，则其传送的精度远远低于激光位移计的精度，从而导致结果。高精度测量是困难的。
另一方面，在诸如X射线厚度计之类的通过透射衰减来估计厚度的方法中，测量了空气层-样品-空气层与透射之间的衰减，但是由于样品引起的衰减很大。比空气的厚度大，运输的影响仅表现为空气层厚度的变化，并且影响很小。因此，可以高精度地进行测量。
软X射线测厚仪的一般功能
与传统的软X射线测厚仪相比，我们的软X射线测厚仪的功能
采用
日本nanogray X射线测厚仪SX-1100系列
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