陈霞
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测量范围 | 1 | 类型 | 数字式 |
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日本YAMABUN山文电气台式离线分光干涉式测厚仪TOF-S
实现高测量重复性(± 0.01 μm 或更小,取决于对象和测量条件)
不易受温度变化的影响
可以生产用于研究和检查的离线式和在制造过程中使用的在线式。
反射型允许从薄膜的一侧进行测量
仅可测量透明涂膜层(取决于测量条件)
模型 | 飞行时间 |
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测量方法 | 非接触式/光谱干涉式 |
测量对象 | 电子和光学用透明平滑膜、多层膜 |
测量原理 | 光谱干扰型 |
日本YAMABUN山文电气台式离线分光干涉式测厚仪TOF-S
测量厚度 | 1~50μm(薄材料)、10~150μm(厚材料) |
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测量长度 | 50-5000 毫米 |
测量间距 | 1 毫米 ~ |
小显示值 | 0.001微米 |
电源电压 | AC100 V 50/60 Hz |
工作温度限制 | 5~45℃(测量时温度变化1℃以内) |
湿度 | 35-80%(无冷凝) |
测量区域 | φ0.6 毫米 |
测量间隙 | 约 30 毫米 |
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