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半导体用金属非接触式测厚仪

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  • 型号 OZUMA22
  • 品牌
  • 厂商性质 经销商
  • 所在地 东莞市

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更新时间:2021-07-22 15:14:19浏览次数:50

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产品简介

类型 数字式 测量范围 1
日本sasaki koki半导体用金属非接触式测厚仪OZUMA22
精确控制上、下测量喷嘴的背压,喷嘴定位使喷嘴与被测物体之间的间隙恒定,并与预先用基准规校准的值进行比较计算处理对被测物体进行测量操作,可精确计算厚度。

详细介绍

日本sasaki koki半导体用金属非接触式测厚仪OZUMA22

<用途>


半导体(各种材料)的晶片硅Si.GaAs砷化镓等,玻璃,金属,化合物等的高精度非接触式厚度测量(非接触式厚度测量)


<功能>


1. 1。可以通过空气背压法进行非接触式厚度测量(非接触式厚度测量),并且不会造成刮擦和污染等损坏
。可以轻松进行高精度的非接触式厚度测量(非接触式厚度测量),而无需依赖诸如薄膜和彩色光泽之类的材料
。潮湿时可以进行高精度的非接触式厚度测量(非接触式厚度测量)
。即使镜面透明或半透明,也可以毫无问题地进行高精度的非接触式厚度测量(非接触式厚度测量)
。由于使用上下测量喷嘴进行测量,因此
   可以精确地测量“厚度",而不受测量对象“打滑"引起的提升的影响。
  (也可以选择“滑行"测量(* 1))
6。由于操作简便,因此可以非常轻松地进行测量和校准(* 2)。

<测量原理>

精确控制上下测量喷嘴的背压,对喷嘴进行定位,使喷嘴和被测物体之间的间隙保持恒定,并使用预先用基准量规校准的值进行比较计算处理。对被测物进行测量操作,可以精确计算出厚度。

日本sasaki koki半导体用金属非接触式测厚仪OZUMA22

<性能>

  分辨率0.1μm
  重复精度10次重复测量时的标准偏差(1σ)0.3μm以下
  z大测量范围 10mm(* 3)
  供应能源电源AC100V 50 / 60Hz 3A
            清洁空气0.4MPa 20NL /分钟(* 4)


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