陈霞
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日本shibaura换能器型多离子真空计GMi 系列
本产品是一种换能器型多离子真空计，可连接不同量程的测量头。
在将常规方法的多种原理集成到一个外壳中的复杂真空计中，“一根测针需要*更换测针"、“测针复杂易出故障"、“一根测针"。我经常听到客户反馈，例如“贵"。
采用这种方法，可以进行宽带测量，显着降低运行成本，并支持低环境负荷。
广域测量可以测量
从大气压到高真空区域（10 5至 5 × 10 -8 Pa）（同时使用 GPM 和 GAM 时）。
可连接不同量程
的测针，采用多离子规，可根据应用选择测针。
准确的大气压测量
可以轻松准确地确认大气压（使用 GAM 时）
支持低环境负荷
由于可以根据需要仅更换触控笔，因此可以降低运行成本。
配备可检查异常情况的 LED，以提高可视性
易于更换可维护的触控笔
各模式规格（组合模式）
GMi+GPM（离子规+皮拉尼规）
GMi+GPM+GAM（离子规+皮拉尼规+气压传感器）
测量值输出信号
压力为0～10V输出（Log输出）
控制输出信号
设定点 3 点输出是可能的 (GMi-1)
串行通信规格
RS232C / RS485 通信是可能的（GMi-2）
符合标准 符合
CE 标准
| 模型 | GMi-1 | GMi-2 | |
|---|---|---|---|
| 规格 | 标准规格 | 串行通信规格 | |
| 自适应多离子规传感器 | M34 (NW16), M35 (NW25) | ||
| 可以连接 | 传感器 多离子规 传感器：1 个 皮拉尼规 GPM：1 个（可选） 大气压力传感器 GAM：1 个（可选） | ||
| 采样时间 | 70 毫秒 4 个移动平均线 | ||
| 测量值输出 | 输出电压 DC 0 至 10 V，Log 输出 0.75 V / 1 位 压力转换公式 V = 7.25 + 0.75 × (Log P -2) P = 10 ^ {(V --7.25) / 0.75 + 2} * 用于设定点调整也可用作（仅 GMi-1）的输出电源 | ||
| 更新时间 | 50 毫秒 | ||
| 控制输入信号 | FIL ON / OFF, FIL 1/2, DEGAS ON / OFF 集电极开路输入，负逻辑 * FIL ON / OFF 信号的使用方法因模式而异。 | ―――― | |
| 控制输出信号 | 传感器错误，设定点1/2/3 排放Ballid 灯丝电源监控 额定值：24 VMAX，50 mAMAX， 饱和电压 1 V | ―――― | |
| 串行通信规格 | ―――― | RS232C / RS485 | |
| LED显示屏 | POWER / ERROR：电源、错误 LED（闪烁状态取决于每种模式） FIL：发射球 LED | ||
| SET1：设定点1 LED SET2：设定点 2 LED SET3：设定点 3 LED | ―――― | ||
| 发射电流 | 1 mA（1 x 10 -3 Pa 或更小），10 µA | ||
| 脱气 | 电子冲击解吸法（电子轰击）1 mA，330 V | ||
| 传感器耐压 | 2 x 10 5 Pa（绝对压力） * 法兰和卡箍的承受压力需要单独考虑。 | ||
| 传感器内部容积 | 34 厘米3 (M34) | ||
| 工作温度限制 | 10-50℃ | ||
| 工作湿度范围 | 15-80%（但无冷凝） | ||
| 贮存温度 | -20～65℃（不通电时不结露） | ||
| 知识产权保护等级 | IP30 | ||
| 电源电压 | DC 20-28 V（纹波、噪声 1% 或更低） 19 W 或更低（电源打开时为 156 W） | ||
| 输入/输出连接器 | D-sub 15针（M2.6螺丝） | ||
| 大量的 | 控制器：约 530 克，BA 触控笔（M34）：63 克 | ||
| 外形尺寸 W x D x H (mm) | 144 x 75 x 62 或更小（控制器部分） | ||
| 符合标准 | 行政长官 | ||
| 选项 | POWER / ERROR：多离子规传感器 | M34 (NW16), M35 (NW25) 材质：灯丝 1 lr / Y 2 O 3涂层，灯丝 2 W（钨） 其他 Pt C Mo, SUS, W | |
| 皮拉尼规 | SPU | ||
| 皮拉尼规传感器 | WP-16 (NW16) 材质：灯丝 Pt、其他 BS / Ni、电镀、镍、焊料 | ||
| 气压传感器 | GAM (NW16) 材质：SUS316L | ||
| 单元电缆 | GPM 为 0.5 毫米 GAM为 0.5 毫米 | ||
| 显示单元 | 1 CH：ISG1 型（使用DC 24 V 电源） 4 CH：IM1R1 型（使用DC 24 V 电源） IM2R1 型（使用AC 100 V 电源） | ||
| 显示电缆 | GMi 和显示单元之间的电缆 2 m、5 m、10 m、15 m | ||
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