陈霞
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| 出口压力 | 高压 | 燃料 | 电加热锅炉 |
|---|---|---|---|
| 结构形式 | 立式 |
thermocera多气氛晶圆退火炉minilab-WCF
多气氛晶圆退火设备，可用于各种
工艺环境下的小规模生产
| C/C复合加热器 | 最高2000°C |
|---|---|
| 碳化硅3涂层加热器 | 最高1600°C |
| TiC3涂层加热器 | 最高2100°C |
C/C 复合材料、SiC3 涂层、TiC3 涂层加热器最高温度 2000°C确保
安全性和可操作性 仅晶圆退火 从超高温多气氛炉的新材料和材料的开发，半导体和电子元件的研发等，可广泛用于小规模生产应用。
三种类型的炉子加热器/绝缘材料扩大了碳炉的应用范围。
C/C复合加热器
SiC3（碳化硅）涂层加热器
TiC3（碳化钛）涂层加热器
最高工作温度 2000°C
C/C复合加热器
TiC3涂层加热器
碳化硅3涂层加热器
PLC 半自动操作（真空/吹扫→排气）
通过触摸屏 HMI 操作
*全自动操作也是可能的（面议）
炉膛加热范围
Φ4寸 〜 φ8寸
单晶圆或多级盒（5张）批量类型
很多选择
自动炉压调节（APC控制）
用于测量炉中样品温度的附加热电偶
额外的前视口+高温计，用于炉子测量
坩埚旋转
全自动控制
通信功能（使用温度控制功能）或SECS/GEM通信
thermocera多气氛晶圆退火炉minilab-WCF
| C/C复合线材 | 碳化硅3涂层石墨丝 | TiC3涂层石墨丝 | |
|---|---|---|---|
| 最高工作温度 | 最高2000°C | 最高1600°C | 最高2100°C |
| 绝缘 | 石墨、氧化铝、钨、钼、氧化锆等（*因炉内结构而异） | ||
| 真空室 | SUS304水冷夹套结构，顶部加载，线性驱动可打开 | ||
| 使用氛围 | 在真空或惰性气体（Ar、N2）中 | 在真空中，惰性气体（Ar，N2），还原气体（H2等） | |
| 有效加热范围 | Φ4寸 〜 φ8寸 | ||
| 极限真空度 | 1x10-2 帕斯卡（* 用于空炉） | ||
| 真空泵 | 干式涡旋泵（可选：涡轮分子泵） | ||
| 热电偶 | C型热电偶 | ||
| 联锁 | 腔室表面温度、加热器超温、冷却水滴、腔室开闭、真空度 | ||
| 公用设施和冷却水 | 加热器额定值最大 8KVA（* 取决于加热范围尺寸），冷却水最大 8l/min 0.4Mpa | ||
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