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沈阳科晶自动化设备有限公司
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VTC-16-SM小型高能直流磁控溅射仪
产品简介：VTC-16-SM小型高能直流磁控溅射仪是一款桌面式等离子磁控溅射镀膜仪，包含一个2英寸水冷靶头（另有1英寸靶头可选）和可旋转样品台。水冷靶头使镀膜后的样品表面不会因镀膜温度过高而变形，甚至损坏样品；样品台可旋转，可以使样品边旋转边镀膜，使镀膜后的样品表面膜厚均匀。设备外形小巧，性价比高，是制作各种金属薄膜理想的镀膜设备，可选配各种金属靶材和真空泵搭配设备使用。VTC-16-SM小型高能直流磁控溅射仪采用PLC控制面板对设备进行控制，操作方便直观。
VTC-16-SM小型高能直流磁控溅射仪操作视频
产品型号 | VTC-16-SM小型高能直流磁控溅射仪 |
技术参数 | 1、输入电源：220VAC 50/60Hz 2、溅射电流：0-150 mA可调 3、功率：＜2KW 4、输出电压：1600VDC（max） 5、溅射腔体 （1）.采用石英腔体，尺寸：166mm OD x 150mm ID x 290mm H （2）.密封：采用O形密封圈密封 6、溅射头&样品台 （1）.二英寸带水冷的磁控溅射头（注意：水冷机不是标配）另有1英寸靶头可选 （2）.一个直径50mm不锈钢样品台，样品台可旋转，旋转速率0-5 RPM （3）.安装有一可手动操作的溅射挡板 （4）.样品台和靶头之间的距离可以调节，调节范围：30-80mm （5）.靶头支架，可以在非溅射状态放置溅射靶头 （6）.溅射面积：4英寸（max） 7、控制面板 6" PLC集成触摸屏控制面板，可控制真空、电流、靶材位置和基片加热温度 8、真空系统 （1）安装有KF25真空接口 （2）数字真空压力表（Pa） （3）此系统运行需要Ar气，并且气瓶上安装有减压阀（设备中不包含） （4）采用机械泵 <1.0E-2 Torr （5）采用涡旋分子泵 <1.0E-5 Torr （6）可在本公司选购各种真空泵 9、进气 含一个控制进气的针阀和一个放气阀，本设备接气需要安装减压阀 10、靶材 （1）靶材尺寸要求：Φ50mmx(0.1-2.5) mm(厚度) （2）适合溅射Au,Ag,Cu,Al,Ti,等金属（可在我公司选购）
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产品规格 | 1、产品外型尺寸：（L）460 mm × （W）330 mm × （H）520 mm 2、净重：20 kg（不包含泵及水冷机） |
可选配件 | 薄膜测厚仪 加热样品台 浮子流量计 |
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