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赛默飞增强型锁相热发射显微镜在半导体领域的应用
♦ ELITE (增强型锁相热发射显微镜) ，锁相热发射显微镜如今已成为高等电性故障分析流程中的技术手段。有缺陷的或表现不佳的半导体器件...
详细介绍
Verios 是 FEI 可靠的 XHR（分辨率）SEM 系列的第二代产品。在半导体制造和材料科学应用中，它可在1至30 kV 范围内提供亚纳米量级分辨率以及增强的对比度，满足材料精密测量所需，同时又不会削弱传统扫描电子显微镜 (SEM) 所具有的高吞吐量、分析能力、样本灵活性和易用性等优势。
Verios 的材料科学应用
对材料科学家来说，Verios 可以将亚纳米表征拓展到当下正在开发的全新材料（例如催化剂颗粒、纳米管、孔隙、界面、生物对象和其他纳米量级结构），从
而让他们获得重要的新发现。无需转而采用 TEM 或其他成像技术便可获得高分辨率、高对比度图像。Verios 可灵活用于各类研究应用，能够容纳全尺寸晶圆或
冶金样本之类的大样本。您可以在高电流模式下执行快速分析，也可以开展精确的原型设计应用，例如电子束感应式材料直接沉积或光刻。
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