分光光度计 检定用杂散光滤光片 截止辐射JBL220nm360nm420nm
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束蕴仪器(上海)有限公司
晶圆x射线晶体定向仪分拣系统用于全自动分拣、晶体取向、optical notch and flat determination测定等。Si | SiC | AlN | 蓝宝石(Al2O3) | GaAs | Quartz | LiNbO3 | BBO和其他100多种材料。
晶圆XRD的特点:
◇ 自动化的晶圆处理和分类系统(例如:盒到盒)。
◇ 晶体取向和电阻率测量
◇ 晶片的几何特征(缺口位置、缺口深度、缺口开口角度、直径、平面位置和平面长度)的光学测定
◇ 未抛光的晶圆和镜面的距离测量
◇ MES和/或SECS/GEM接口
的Omega-scan方法:
◇ 高的精度
◇ 测量速度: < 5秒/样品
◇ 易于集成到工艺线中
◇ 典型的标准偏差倾斜度(例如:Si 100): < 0.003 °,小于< 0.001 °。
更多信息请联系我们。
全自动化的晶圆分拣和处理系统
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