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上海华爱色谱分析技术有限公司
氦离子色谱仪适用电子工业用气体中痕量杂质的检测,小检测浓度可达5ppb。仪器配备高灵敏的氦离子化检测器,采用华爱公司的中心切割技术,进样阀均带有吹扫保护气路;整机采用多柱箱设计,并配备进样压力自动校正系统,保证不同底气的样品的进样量。产品先后荣获上海市*成果转化*项目、上海市重点新产品、上海市火炬计划和2009科学仪器产品等称号。
氦离子色谱仪适用电子工业用气体中痕量杂质的检测,小检测浓度可达5ppb。仪器配备高灵敏的氦离子化检测器,采用华爱公司的中心切割技术,进样阀均带有吹扫保护气路;整机采用多柱箱设计,并配备进样压力自动校正系统,保证不同底气的样品的进样量。产品先后荣获上海市*成果转化*项目。
氟的技术指标:
项目 | 指标 | |
氟(F2)(体积分数)/10-2 | ≥ | 99 |
氧(O2)+氮(N2)(体积分数)(N2)/10-2 | ≤ | 0.45 |
四氟化碳(CF4)(体积分数)/10-2 | ≤ | 0.05 |
氟化氢(HF)(体积分数)/10-2 | ≤ | 0.5 |
氟氮混合气的技术指标:
项目 | 指标 | |
氟(F2)(体积分数)/10-2 | 20 | |
氮(N2)(体积分数)(N2)/10-2 | 80 | |
氧(O2)(体积分数)(N2)/10-2 | ≤ | 0.08 |
四氟化碳(CF4)(体积分数)/10-2 | ≤ | 0.03 |
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