便携式共聚焦显微系统应用

μsurf系列用来测量表面物理形貌，进行微纳米尺度的三维形貌分析，如3D表面形貌、2D的纵深形貌、轮廓（纵深、宽度、曲率、角度）、表面粗糙度等。μsurf 主要对大型样品进行测试，在以下几个行业中被众多企业广泛使用：
汽车行业
印刷和造纸行业
钢铁行业
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便携式共聚焦显微系统技术参数
LED光源：λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h
测量时间：5~10秒
测量原理：非接触、共聚焦、可移动，可以检测大型的物体
X/Y方向移动范围：50mmX50mm，马达驱动，X/Y方向分辨率：0.3μm
Z方向移动范围：35mm
Z方向测量范围：250μm，Z方向分辨率：< 10nm
物镜：10X、20X、50X、100X(可选)
计算机：高性能计算机控制系统，功能强大且全面的软件，有拼接功能
工作电源：90-265 V, 50-60 Hz, input < 50 W（也可用电池做电源）
材质：钢铁、橡胶、大理石
外型尺寸：380*110*115mm
重量：5.5KG（不含防震拉杆箱）
洁净室等级: Capability class 6 (according to DIN EN ISO 14644)