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皮米精度位移测量仪

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更新时间：2020-03-15 14:38:33浏览次数：652次

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上海昊量光电设备有限公司

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产品简介

加工定制	否

皮米精度位移测量仪的quDIS的传感器头都是基于光纤的，除了标准准直仪和已建立的聚焦头，quDIS还为恶劣环境下的应用程序设计了特殊的头。

详细介绍

昊量光电推出的皮米精度位移测量仪quDIS是低至纳米范围位移测量的理想仪器，达到了50pm的重复精度。quDIS支持三个测量通道，使其可以适用于任意多轴测量应用。皮米精度位置测量仪同样采用激光干涉法，不过与传统激光干涉仪相比，其集成了法珀腔（Reference cavity）及饱和吸收气室（GC）作为频率校准参考，通过激光波长调谐扫描，比较两种不同的干涉图样，可以实现其它设备所不具有的距离测量。因此，皮米精度位移测量仪不仅可以获得位置、速度和加速度等信息，折射率、反射率或表面倾斜度等信息也可以从实时信号中得到。

干涉传感头

根据反射目标的不同，所有应用都需要不同的准直、聚焦和光束剖面约束。激光束的成型是通过不同的传感器头来实现的。所有的quDIS的传感器头都是基于光纤的，除了标准准直仪和已建立的聚焦头，quDIS还为恶劣环境下的应用程序设计了特殊的头。

产品关键特性：

信号稳定性：< 0.05nm
距离测量
0.1——20m工作距离
工作带宽25kHz
目标速度1m/s
3个传感头，多设备同步

应用领域：

干涉距离测量
振动分析
束线中断补充
间隙和边缘测量
环境振动分析
位移台精度评估

皮米精度位置测量仪参数列表：

干涉仪		传感头
光源	DFB激光器	分辨率	1pm
功率	<400uW	信号稳定性	< 0.05nm
波长	1535nm	距离稳定性	<200nm
线宽	<5MHz	带宽	25kHz
传感器通道	3	工作距离	0.1—20m
光纤输入端口	FC Narrow-Key-Slot	目标速度	<1m/s
光纤输入端口	Mating Sleeves	传感头	真空
同步	多台设备同步	传感头	低温